2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【測】紫外-可視-近赤外 分光光度計+自動測定ユニット 型式 V-670 & ARMN-735 (2011年導入) メーカー 日本分光 主な仕様 ・透過率T,反射率R・波長 λ: 250~2000nm・入射角 θin: 0~85° step 0.1° (自動連続変更可!)・検 […]
2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【加】高密度プラズマエッチング(ICP-RIE)装置 ※現在メンテナンス中のため,利用できません. 型式 CE-300I (2011年導入) メーカー ULVAC 主な仕様 ・エッチングガス: Ar,Ar+CH4,Ar+H2,CF4,C3F8,CHF3,O2,SF6・アン […]