【基板】無吸収基板の反射/透過の式＿演習付

• 未成膜の無吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(R_s)や透過率の値から，基板の屈折率(n_s)や片面反射率(R₀)を概算できます．
• さらに，片面成膜の無吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(R)や透過率の値から，R₀の影響を取り除き，成膜面の反射率(R_A)や透過率を算出できます．

＊入射角5度であれば，垂直入射と同等とみなせます．
＊分光反射率R(λ)と分光透過率T(λ)を測定し，R+Tがほぼ100%となる波長域λに適用できます．

---

演習

基板の片面反射率から，基板の屈折率を求める計算演習をやってみましょう．

(1)　上記サイトにて，Air／基板の構造にして反射率 R₀(λ) を計算し，データを保存します．
(2)　上記資料式(2)にR₀(λ) を代入すれば，基板屈折率の波長特性 n_s(λ) を求めることができます．

計算例