【基板】弱吸収基板の反射/透過の式

  • 弱吸収基板として,反射率+透過率=80~99.5%(光吸収率=0.5~20%)程度であり,その厚さが概ね0.1mm以上の基板を想定します.
  • 弱吸収基板では,片面反射率(R0)が透明基板のそれと同じとみなせますが,ポテンシャル透過率(A)が1より小さくなるので光吸収を生じます.
  • 未成膜の弱吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(Rs)や透過率の値から,基板の消衰係数(κ)を概算できます.
  • さらに,片面成膜の弱吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(R)や透過率の値から,R0やAの影響を取り除き成膜面の反射率(RA)や透過率を算出できます.

*入射角5度であれば,垂直入射と同等とみなせます.
*基板表面は光学研磨されており,光散乱=0とみなします.
*分光反射率R(λ)と分光透過率T(λ)を測定し,R+T=80~100%となる波長域λに適用できます.


両面反射率R,透過率T,光吸収率(1-R-T) の基板κ依存性