【加】ダイシングソー
| 型式 | DAD522 （2003年導入） |
| メーカー | ディスコ |
| 主な仕様 | ・最大ワーク寸法:152.4 mm ・切削可能範囲(x:横幅,y:奥行)：220mm (x)×160mm (y) ・x方向送り速度：0.3mm/s ～ ・y方向位置決め精度：0.005mm ・z方向有効ストローク：26.7mm ・θ方向回転角：380deg. |
| 実績 | 石英，ガラス，シリコン，サファイア(難)，ジルコニア(難) ■膜無し基板/膜付き基板の(任意サイズへの)切り出し（切断） ■光導波路の端面出し（切断） ＊チッピング抑制，切断面キズ抑制 ■光導波路への細溝加工 ＊同上 ■端面45°シャドーマスクの作製（切断） ■ジルコニア製フェルールへの溝加工 □ガラス基板へのファイバV溝形成 |
| 装置所有 | 依田研究室 |
