| ■真空装置、真空部品、(作製関連の)理化学機器 | ■加工装置，熱処理装置 |
| 【真空装置】 ・RFマグネトロンスパッタ装置 ・(緑の) RFマグネトロンスパッタ装置 ★DCパルススパッタ装置 ＠オプト４F ★HC-PECVD装置 ＠CDI１F ★ICP-RIE ＠CDI北１F ・電子ビーム蒸着装置 ・抵抗加熱蒸着装置 【真空装置関連】 ・サンドブラスター ・真空/電気/ガス/水/加熱のユーティリティ ・真空デシケータ＋RP ・真空ピンセット 【理化学機器】 ・超音波洗浄器 ・温度制御付きスターラ(クールスターラ) ・スピンコータ ・静電気除去ブロア ・テーブルKOACH ・パーティクルカウンター ★印は， 依田装置の 共同利用設備です | 【光ファイバ加工】 ・レンズドファイバ加工装置 FiberSmith ・ファイバ融着接続機 ・ファイバコネクタ端面研磨機 ・ファイバカッター 【切断・研磨加工】 ・ダイシングソー ・自精密研磨装置，樹脂加圧装置 ・超音波ドリル ・卓上フライス-ボール盤 ・卓上型バンドソー ・ガラスカッター ・ダイヤモンドペン(結晶基板用) 【熱処理】 ・赤外線GI炉 ・温湿度環境試験器 ・小型高温チャンバ ・真空電気炉 ・電気マッフル炉 ・低温乾燥器 ・ホットプレート ・ヒータ+温度指示調節計+SSR+TC |
| ■光測定装置 | ■電源、電気測定器 |
| 【光スペクトル測定】 ★赤外分光エリプソメータ IR-VASE ★紫外可視近赤外分光光度計 V-670 ・紫外可視近赤外分光光度計 V-570 ・光スペクトラムアナライザ(3) ・Hazeメータ 【NFP測定・像観察】 ・ビームプロファイラ ・近赤外対応カメラ ・CCDカメラ ・マイクロヘッドカメラ ・近赤外用光学顕微鏡 ・(可視)光学顕微鏡 ・デジタルマイクロスコープ ・実体顕微鏡 ・フェルール端面顕微鏡 【光パワー測定】 ・光マルチメータ＋センサーヘッド(多数) ・Siフォトディテクタ＋増幅回路 ・レーザエネルギーディテクタ 【関連】 ・光偏波スクランブラ（～ｽﾍﾟｯｸﾙｽｸﾗﾝﾌﾞﾗ） ・光損失アナライザ ・インライン光減衰器 ・リターンロス測定器/ユニット ★印は，依田装置の共同利用設備です | 【電圧・電流源】 ・DC安定化電源(7V×10A～2000V×2mA各種) ・任意波形ファンクションジェネレータ(2) ・プログラマブルDC電源 ・バイポーラアンプ ・周波数コンバータ 【電圧/電流測定】 ・デジタルロックインアンプ＋ライトチョッパ ・データロガー ・デジタルマルチメータ ・デジタルオシロスコープ ・デジタルテスタ ・クランプテスタ 【抵抗測定】 ・低抵抗測定計(<1MΩ,四探針法) ・高抵抗測定計(>1MΩ,二重リング法) ・キャパシタンスメータ 【温度測定】 ・サーモグラフィカメラ(-10~+150℃) ・放射温度計(600~3000℃) ・K,T熱電対(TC)＋データロガー 【表面プロファイラー】 ★触針式表面段差計(dektak) ★白色光干渉顕微鏡(Wyko) 【厚み/角度 測定】 ・デジマイクロスタンド(厚み) ・デジタルノギス(厚み) ・デジタル傾斜計(傾斜角) ・デジタルプロトラクター(角度) |
| ■光源、光アンプ、(計測関連の)理化学機器 | ■光学部品、光ファイバ |
| 【光源】 ・チューナブルLD光源 1.55μm帯(3),1.6μm帯(2) ・レーザ光源(VIS) 0.4, 0.53, 0.65 ・レーザ光源(NIR) 0.98, 1.06, 1.31, 1.55, 1.59 ・レーザ光源(IR) 10.6μm ・LED光源 0.85, 1.29, 1.31, 1.2-1.6μm ・ASE光源 1.55μm帯 ・白色光源 ・半導体LDチップ＋LDコントローラ 【光アンプ】 ・EDF光アンプ 1.5μm帯用 【UVランプ】 ・UVファイバスポット照射装置 ・UV照射ランプ ・UV光量メータ(波長290～390nm) 【理化学機器】 ・電子天秤(max 65g 他) ・ハイトゲージ ・pHテスタ ・酸素濃度計 | 【光学部品】 ・インライン波長可変フィルタ(応用光電) ・インライン1×2光スイッチ ・光ファイバコリメータ ・光ファイバカプラ 1.55,1.59,1.26-1.62μm帯 ・光ファイバサーキュレータ 1.55,1.59μm帯,C+L帯 ・光ファイバポラライザ 1.55μm,1.59帯 ・光ファイバアイソレータ 1.55μm帯 ・ミラー(平面, コーナーキューブ, 軸外放物面) ・レンズ ・無偏光ビームスプリッタ NPBS ・偏光プリズム PBS ・偏光板(VIS,NIR) ・1/4波長板(単波長; アクロマティック) ・1/2波長板(単波長) ・バビネソレイユ補償板 ・フィルタ(SPF, LPF, BPF) ・ダイクロイックミラー(RGB) ・NDフィルタ(VIS,NIR), 減衰板 【光ファイバ】 ・光ファイバ素線(SMF, GIF, PMF, TEC, DCF, GIO, PI耐熱) ・FC-UPC/APCコネクタ付光ファイバコード 【微動ステージ】 ・自動(X, Z, θ, θ-2θ) ・手動(XYZ, XY, X, Z, θ, α) ・NI-DAQ+VCM型X軸ステージ ・ホルダー各種 |
| ■解析ソフトウェア（光関連） | ■解析ソフトウェア（光関連以外） |
| ・BPM ・FDTD ・RCWA ・EME ・光学薄膜解析 ・光線追跡解析 ・エリプソ解析 WVASE | ・熱伝導解析 ・Mathematica ・LabVIEW ・Python ・Fortranコンパイラ ・Visual Studio(VB) |
1 2