【測】紫外-可視-近赤外 分光光度計+手動測定ユニット

型式V-570 & ARN-475 (1996年導入)
メーカー日本分光
主な仕様透過率T,反射率R
波長 λ: 250~2000nm
入射角 θin: 0~85° step 5° (手動変更)
偏波: S,P,N (手動切換え)
波長特性測定: T or R (λ可変,θ一定,各偏波)
ベースライン補正(100%基準)
ダークライン補正(0%補正)なし,または手動ポスト処理
・シングルモノクロ
実績波長特性 @波長可変(入射角選択,検出角同期)
 …基板,光学薄膜,金属薄膜
装置所有依田研究室
装置利用装置利用 学科〇/学部△/学外× *ご相談ください

■T(λ),R(λ)測定結果から光学定数(n,κ)を求める方法

基板の(n,κ)波長分散の算出

  • 【方法】R(λ)とT(λ)を測定し,またExcelやプログラミングを用いて,(n,κ)を変えて参考資料の式(3)のRs,Ts (s:substrate) を計算します。計算結果と測定結果とが一致する(n,κ)として求まります.

◇基板上に成膜した膜の(n,κ)波長分散の算出

  • 【方法1】離散的な屈折率nであれば,ピーク波長(参考資料)やピーク反射率(参考資料)から求めることができます.Excelを使って簡単に求められる方法です.
  • 【方法2】厚膜(光学膜厚>数μm)を成膜することで,連続的な(n,κ)を求める方法もあります.→非公開資料
    Excelマクロやプログラミングを自作して用います.*成膜前または測定前に装置管理者へ解析依頼してもらえば対応します.

■実測例

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