【IR】nkデータ of 結晶シリコン(c-Si)
- 試料：
＊シリコンウエハ
＊基板厚： 2.4mm - 測定：
＊赤外域多入射角分光エリプソメータ(IR-VASE)
＊エリプソ測定： 入射角 55° 65° 75°，波数分解能 16cm^-1
＊透過率測定： 入射角 0°
＊測定日： 2017/1/10 - 解析：
＊波長 WL： 1.7-30μm
＊屈折率 n： 有効数字3-4桁；調和振動子モデルfitting→K-K関係あり
＊消衰係数 k： 有効数字1-2桁＆10の累乗に信頼性あり；調和振動子モデルfitting→K-K関係あり
＊nkデータ名： user_Si(b70110)_ir_g.mat - メモ：
＊波長7μm以下で透過率の不一致あり→改善の余地あり
＊グラフが少し歪んでしまっています（すみません）が，波長特性の傾向を知ることはできると思います．
“(n,k)Si_5μm step” をダウンロード
nkSi_b70110【mse2.2】5um-step.txt – 236 回のダウンロード – 122.00 B
