《学科共用》マスクアライナー＠405

型式	MA-8C　（導入：1993年以前）
メーカー	ミカサ
主な仕様	・超高圧水銀灯：USH-250D（ウシオライティング） ・i線（365nm），g線（436nm）
実績	■g線ポジレジスト OFPR（東京応化工業） ■g線ネガレジスト OMR（東京応化工業）
装置管理	入江教員，依田教員
装置利用	学科〇　＊学科共用装置

＊1993年以前に東北大から譲渡された25年前の装置. 修理サポート終了.
＊稼働中だが，老朽化（一部故障）：自動開閉シャッター，試料ステージ．

【参考】フォトリソグラフィ工程（フォトプレシジョン社webサイト）