【成】抵抗加熱蒸着装置
| 型式 | EBH-6 （1975年導入） |
| メーカー | ULVAC |
| 主な仕様 | ・加熱機構：抵抗3基，電流~200A，開閉シャッター付 ・フィラメント：ボート型, バスケット型 ・排気系：RP，DP ・真空計：ガイスラー, ピラニー, B-A ・ガラス製ベルジャー |
| 実績 | ■金属薄膜(Ag, Al, Au, Ca, Cu) ■Ca/Al：水蒸気バリア性能評価用 ※実験中 |
| 装置管理 | 依田研究室 |
| 装置所有 | 学科○/学部△/学外× ＊ご相談ください |
＊高融点金属の融点
| 型式 | EBH-6 （1975年導入） |
| メーカー | ULVAC |
| 主な仕様 | ・加熱機構：抵抗3基，電流~200A，開閉シャッター付 ・フィラメント：ボート型, バスケット型 ・排気系：RP，DP ・真空計：ガイスラー, ピラニー, B-A ・ガラス製ベルジャー |
| 実績 | ■金属薄膜(Ag, Al, Au, Ca, Cu) ■Ca/Al：水蒸気バリア性能評価用 ※実験中 |
| 装置管理 | 依田研究室 |
| 装置所有 | 学科○/学部△/学外× ＊ご相談ください |
＊高融点金属の融点
