【測】白色光干渉顕微鏡（xy面内の試料表面形状測定）

型式	Wyko NT9100　（2011年導入）
メーカー	Veeco（現 bulker）
主な仕様	・計測モード：　PSI(Phase-Shift Interferometry) 　　　　　　　　VSI(Vertical Scanning Interferometry) ・光源波長：　0.535μm(PSI-Low Mag)，白色(VSI) ・z方向測定高さ：　0.1nm~10μm(PSI)，1nm~10mm(VSI) ・対物レンズ(Turret)：　x5，x50 ・内部レンズ(FOV)：　x1，x0.55 ・xy測定範囲と分解能：　別表参照・NA：　0.12 (x5)，0.55 (x50) ・作動距離：　6.7mm (x5)，3.4mm (x50) ・焦点深度：　37μm (x5)，2μm (x50) ・最大斜面角度：　3.8°(x5)，26.7°(x50)＊＊斜面計測は不得手．急斜面を含む試料は他装置で測定がbetter．・Zygo NewView7300　40°(x100 ＠NA0.80）・オリンパス OLS4000　54°(x50,x100 ＠NA0.95）＊レーザ顕微鏡と違いはこちら（株日本レーザのWebサイト）．
実績	■薄膜の厚さ分布（段差の面内分布） ■薄膜の面内表面粗さ（RMS粗さの面内平均，うねりの方位依存性） ■試料の反り分布（曲率半径の面内分布，圧縮or引張） ■試料の表面プロファイル（立体的な形状）
利用申請先	学内者…初回は，依田教員まで（Contactからご連絡ください）．2回目以降は，研究設備新共用システムから予約してください．学外者…研究開発のユニークな目的でしたら依田教員までContactからご相談ください．本装置と触針式表面段差計を併用することでz方向絶対値の信頼性も確認できます．　試料数が多く単純なルーチン測定には対応しておりませんので，県産業技術センター機器（光干渉）のご利用をお勧め致します．
技術的問合先	依田教員（装置管理者）→Contact