【測】触針式表面段差計(x方向の試料表面形状測定)

型式Dektak 150 (2011年導入)
メーカーULVAC(現 bulker)
主な仕様【垂直レンジ】6.5, 65.5μm *はっきり識別できる最小段差:(経験上)50nm
【垂直分解能/測定レンジ】(最高)0.1nm/6.5μm
【測定距離】50μm~55mm
【測定時間】3~200秒
【触針圧】1~15mg
【触針半径】12.5 μm(標準), 2.5 μm(研究専用)
【ステージ移動範囲】XY:±50mm
【ステージ直径】約160mm
【最大試料厚】85mm
実績■薄膜の厚さ(段差)
■薄膜の表面粗さ(RMS粗さ,うねり)
■試料の反り(曲率半径,圧縮or引張)
■試料の表面プロファイル(形状,高さ,深さ)
利用申請先学内者…初回は,依田教員まで(Contactからご連絡ください).2回目以降は,研究設備新共用システム から予約してください.
学外者研究開発のユニークな目的でしたら依田教員までContactからご相談ください.本装置と併せて白色光干渉顕微鏡による3D評価も同時に行えます. 試料数が多く単純なルーチン測定には対応しておりませんので県産業技術センター機器(dektakのご利用をお勧めします.
技術的問合先依田教員(装置管理者)→Contact

スペース幅2aが狭く( a < R )かつ 膜厚dが厚い( d > R-√(R^2-a^2) )と,測定した厚さ(深さ)は見かけ上dより薄くなる.

測定例

■Line&Space(幅5μm:5μm)でパターニングしたレジストの表面プロファイル(触針R=2.5μm)