【測】赤外域多入射角分光エリプソメータ
| 型式 | IR-VASE （2011年導入） |
| メーカー | J.A. Woollam Japan（東京都） |
| 主な仕様 | ・波長範囲： 1.7～30μm（最大1.6～40μm） ・波数分解能： 16，8，4cm-1 ・入射角： 26～90° step 1°（反射），0～90° step 1°（透過） ・検出器： DTGS |
| 実績： | 基板，単層膜，多層膜．（材料↓） |
| ■無機 | Al2O3,CaF2,CeYO,KRS5,MgF2,SiNx,SiOx,SiO2,TiO2,YF3,ZnS,ZnSe,ZrO2 |
| ■ガラス | BK7,Glass,Silica,カルコゲナイドガラス |
| ■半導体 | DLC,Ge,ITO,Si,SiC,SiGe,化合物半導体 |
| ■金属 | Ag,Al,Au,Cr,Mo,NiCr,Pt,SUS,Ti,TiN,W |
| ■有機 | BM,EVA,PC,PE,PMMA,PP,PS,PVA,PVB,ほか |
| 利用申請先 | 宇都宮大学 機器分析センター |
| 技術的問合先 | 依田教員（装置管理者）→Contact |
- 留意事項： 基板ではドーパントの違いにより，薄膜では成膜手法や成膜条件の違いにより，nk値も違ってきます．よって文献値はあくまで参考であり，正確な数値データは実測して得る必要があります．得られたnk値を用いれば，有効性の高い多層膜設計を行うことができます．
他のWebサイト（図4の下の段落） にも書かれていますが，まったく同感です．
